廣州潽拓光電科技有限公司——阿爾卡特渦輪分子真空泵 分子泵養(yǎng)護(hù)
半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)制造工藝極其復(fù)雜，需要在高純度硅片上執(zhí)行一系列精密的物理或者化學(xué)操作，例如摻入相應(yīng)的其它元素、形成多種金屬薄膜和絕緣膜、進(jìn)行表面的刻蝕處理等。這些復(fù)雜的生產(chǎn)制造工藝都需要在分子泵維持的高真空環(huán)境下進(jìn)行，而且對真空系統(tǒng)和真空設(shè)備的潔凈度也有著很高的要求。分子泵養(yǎng)護(hù)
羅茨真空泵在石油、化工、塑料、nong藥、汽輪機(jī)轉(zhuǎn)子動平衡、航空航天空間模擬等裝置上得到了長期運(yùn)行的考驗(yàn)，所以應(yīng)該在國內(nèi)大力推廣和應(yīng)用。同時也廣泛用于石油、化工、冶金、紡織等工業(yè)。真空泵配件作為真空泵消*器，用于真空泵的噪聲治理。分子泵養(yǎng)護(hù)
轉(zhuǎn)子的內(nèi)部冷卻:為了使羅茨真空泵在更高壓差下工作，可采取更有效的冷卻方法，即將轉(zhuǎn)子用循環(huán)油冷卻，在泵軸兩端分別有油孔、油徑軸頭打入，經(jīng)轉(zhuǎn)子內(nèi)壁再從另一端排出。冷卻油除冷卻轉(zhuǎn)子外，還潤滑齒輪和軸承。這種冷卻效果較好，泵在運(yùn)轉(zhuǎn)時轉(zhuǎn)子溫度低于外殼溫度，大泵常采用這種方式。 分子泵維修，例如在80Torr壓差下工作時，羅茨真空泵轉(zhuǎn)子溫度較外殼低78度，同時還發(fā)現(xiàn)泵負(fù)荷越重時，則間隙越大，這是因?yàn)檗D(zhuǎn)子用油冷卻，溫度比殼體低，負(fù)荷越大，殼體膨脹越厲害，軸間距加大，所以間隙會增大。
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廣州潽拓光電科技有限公司——阿爾卡特渦輪分子真空泵 真空泵機(jī)組維修
分子泵的維修方法有更換前級泵，更換后級泵。這個辦法是由于前級泵在運(yùn)行時，其軸承磨損,轉(zhuǎn)速大等原因造成。所以要注意保持軸承的平衡,保證軸承不會磨損。如果發(fā)現(xiàn)轉(zhuǎn)子軸承出現(xiàn)題,可以用儀器檢查，檢查后要及時更換。如果發(fā)生故障,應(yīng)立即停止工作。真空泵機(jī)組維修
分子泵運(yùn)行超過3年后,會出現(xiàn)油棉變黑、轉(zhuǎn)子不穩(wěn)等，請您到分子泵維修廠家去檢測.分析分子泵是一種高壓泵,它具有很大的工作頻率和較好的動態(tài)性能，它可以保證在正常運(yùn)行狀態(tài)下工作。真空泵機(jī)組維修
油脂潤滑和脂潤滑分子泵也統(tǒng)稱為機(jī)械軸承分子泵。并且其油或者油脂的性能必須具備以下三個條件，才能滿足泵的工作要求：真空泵機(jī)組維修
a. 高速下具備良好的潤滑性能；
b. 飽和蒸氣壓低于前級泵工作液的飽和蒸氣壓．
c. 粘度適當(dāng)，使之兼有軸承冷卻液的作用。
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廣州潽拓光電科技有限公司——阿爾卡特渦輪分子真空泵 上海維修真空泵
分子泵轉(zhuǎn)速過高，軸承磨損。這種情況主要集中在轉(zhuǎn)矩和軸承兩個部件上。轉(zhuǎn)矩和軸承兩個部件不穩(wěn)定。這種情況主要集中在軸承磨損。分析原因有1)油棉變黑了,發(fā)黃,轉(zhuǎn)速限定解決方法用電腦檢測分子泵運(yùn)行狀態(tài)，可以判斷出油棉變黑了。上海維修真空泵
對真空設(shè)備而言，非接觸懸浮是很有吸引力的。電磁軸承應(yīng)用于渦輪分子泵，可實(shí)現(xiàn)分子泵的無油、無磨損運(yùn)行，運(yùn)行安靜，振動ji小，尤其適合半導(dǎo)體工業(yè)等超凈高真空應(yīng)用場合。上海維修真空泵
還有一種冒煙的原因就是，真空泵在使用了一定的時間后，由于沒有對泵做好日常的維護(hù)保養(yǎng)工作，使得排氣口處冒出了油煙。這其實(shí)是真空泵的排氣過濾器失效了，要知道的是，真空泵排氣過濾器，是一個屬于耗材料類配件，在真空泵里面起到油氣分離作用，可以防止真空泵油隨著尾氣排出真空泵泵體。把過濾下來的真空泵油沉淀下來回流到油箱里，當(dāng)排氣過濾器失效時，排氣過濾器就起不到過濾作用。上海維修真空泵
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